MM3E带位置编码的微纳米操纵仪

MM3E 以 MM3A-EM微纳米操纵仪为基础，具有MM3A-EM 相同的紧凑性、精确性和稳定性。同时，MM3E具有闭环位置反馈功能（closed-loop positional feedback），该功能提高微纳米操纵仪的易用性。一键定位MM3E的探针尖端到工作（Working）和停留（Parking）位置。

MM3E 与市场上几乎所有的 SEM 或 FIB/SEM 完全兼容。它配备了一个直观的拖放式（drag&drop-style）控制软件，可方便地在 SEM 或FIB/SEM 工具内定位探针。

软件可执行坐标变换，使 MM3E 以笛卡尔坐标系工作，其重现性仅为几微米。利用可选的带编码的旋转轴，样品可在工作位置进行同心旋转（compucentrically）。

产品特点（Features）

• 配有模块化组件和一系列插件工具的即插即用系统

• 适用于大多数 SEM/FIB 的接口解决方案

• 轻松使用多个机械手

• 结构紧凑，可实现更高的共振频率

• 几乎不受振动影响

• 快速手动预定位

• 宽大的工作范围（100 cm³）

技术参数（Specifications）

• X/Y 分辨率：0.5nm

• Z分辨率：0.02nm

• R轴分辨率：0.5e-6°

• XYZ重复性： < 2 µm

• R轴重复性： < 0.02°

• 漂移：< 1 nm/min

• 同心旋转同心度 ~30 µm

应用（Application）

• 原位提取（In-situ lift-out）

• 纳米探测（NanoProbing）

• 微纳操纵（NanoManipulation）

Compucentric rotation within a field of view of 30 µm