原理
激光光束稳定系统可用于抵消或纠正由振动、冲击震动、热量漂移,或其他因素引起的变化。该系统可应用于所有激光设备和激光系统中。
光束的理想位置和角度由一个或两个探测器(4象限二极管或PSD)来定义。对于光束探测来说,一小部分的激光功率就足够了。例如,可使用通过高反射偏转镜的漏光。同时,闭环控制器连续地确定激光光束与目标位置的偏差,通过快速的压电镜架(快反镜)来稳定激光。

典型设置
两个压电镜架(快反镜)和两个探测器被用来在四个维度(4D)上稳定激光光束。
在这个设置中,第一级的压电镜1和探测器1用来控制光束在压电镜2上保持一个稳定的位置。然后第二级压电镜 2探测器2保证应用处正确的光束角度。

系统组成:
电子控制系统
压电控制转向镜
探测器

应用
激光微加工
泵浦探测实验
过程监控
光纤耦合
