Probing Shuttle

技术参数：

PS8尺寸

直径：140mm

高度：10mm

子台Substage

X/Y 轴移动范围：9mm

Z轴移动范围：0.7mm

探针Probers：

X轴行程：4.5mm

Y轴行程：5mm

Z轴行程：90°ƒ

分辨率：

线性轴< 0.5 nm

旋转轴 < 8 nm

移动速度：最大1mm/s

漂移：小于1nm/min