低电流测量套件（Low-Current Measurement Kit）

低电流测量套件（Low-Current Measurement Kit，LCMK-EM）

LCMK-EM是用于MM3A-EM微纳操纵仪的低电阻、低噪音探针支架（probe holder）。它可以对导电样品进行低电容、低电流测量，从而增强MM3A的功能。

标准钨探针可插入LCMK-EM探针支架。三通轴电缆（Triax cable）和馈入件（feedthrough）将电信号传输到适配器上，适配器适用于所有传统参数分析仪（Parameter analyzer）。

LCMK插件工具可快速方便地安装到已有的MM3A-EM微机械手上。

应用（Application）

失效分析

高K栅极材料的鉴定

EBIC/RCI分析

纳米线、超薄膜等先进材料的电特性分析

技术参数（Specification）

电流测量极限：0.2pA

绝缘漏电流：50 fA at 1 V

信号传导电阻：0.9 Ω

最大电压：210V

最大电流：200mA