Prober Shuttle

Prober Shuttle PS8, 超紧凑的 PS8可安装多达八个MM4 微机械手以及一个三轴子平台。27 个轴中的每个轴都能以JI高的精度进行定位。探针的 Z 驱动向上摆动 90°，便于接近样品，也便于快速更换针尖。

每个微型MM4机械手都配备了用于低电流测量套件。整个平台可通过一个 6" Load Lock进入扫描电镜或扫描电镜/FIB 的真空室。

Prober Shuttle PS8,还配有高级探测工具套件（可选），可为Probing探测应用提供大量附加功能。可用于半导体材料，器件，结构等电学性能分析。

系统特点

所有空气侧硬件均安装在 19 英寸机架上

电子设备机架位于操作员视线之外

通过 APT UI 控制整个系统

从法兰到机架的整洁电缆管理

针对电路编辑应用的 FIB 倾斜探测

非磁性设计

可用于5纳米及更高