带位置编码器的纳米机械手 MM3E

德国Kleindiek公司的MM3E 以经典的，广泛使用的 MM3A-EM 微纳米操纵仪韦基础，具有与MM3A 相同的紧凑性、精确性和稳定性，并结合了闭环位置反馈功能（closed-loop positional feedback）。这一改进为提高系统的易用性提供了手段（例如，通过定义停止位置parking position和工作位置working position，一键点击，使机械手前端的探针到达指定位置，大大提高了工作效率）。

MM3E 与市场上几乎所有的 SEM 或 FIB/SEM 完全兼容。它配备了一个直观的拖放式（drag&drop-style）控制软件，可方便地在SEM 或 FIB/SEM 内对探针进行三维定位。

软件可执行坐标变换，使MM3E 以笛卡尔坐标系运动，其重现性仅为几微米。通过选配编码的轴向旋转单元，试样可以在靠近试样的位置进行同心旋转（compucentrically）。

应用领域：

• TEM 原位提取（In-situ lift-out）

• 纳米探测（Electrical probing）

• 纳米操纵（Nanomanipulation）

Compucentric rotation within a field of view of 30 µm