德国Kleindiek

德 国 Kleindiek Nanotechink 微 型 纳 米 探 针台 是 专用于SEM/FIB环境中对半导体器件与先进材料电学表征的高性能系统。

超紧凑型Prober Shuttle平台可配备多至8个MM4微操纵器，用于探针在样品表面亚纳米级的定位和精确探测。每个MM4都配置弱电流测量套件（LCMK），用于稳定的弱电流测量场景。

系统配置精密的EBIC放大器，支EBIC/EBAC/RCI/EBIRCH等多种分析模式。


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